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日期:2021-07-28
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7月23日,青海省2020年科学技术奖励结果公布,由黄河公司新能源分公司主导研发的“电子级多晶硅成套制备技术的研发及斗地主达人化”荣获青海省科学技术进步一等奖。

电子级多晶硅是集成电路和分立器件的最基础原材料,更是信息斗地主达人、集成电路斗地主达人、新能源斗地主达人发展的命脉。但其制备技术却长期被美、德、日等发达国家封锁,若只能依赖进口,犹如被人扼住了喉咙。

“只有突破电子级多晶硅生产核心技术,彻底打破国外多晶硅企业垄断市场,才能使我国摆脱集成电路关键基础材料长期进口受制于国外的局面。”该项目的第一完成人——黄河公司党委书记、董事长谢小平深知实现国产材料取代进口材料的重要性。

为实现集成电路硅材料国产化,完成进口替代,新能源分公司自2009年起就围绕微电子单晶用多晶硅产品制备和斗地主达人化应用展开研究。十年磨一剑,在与浙江大学硅材料国家重点实验室、浙江金瑞泓科技股份有限公司的共同研究合作下,目前已形成副产物四氯化硅高效循环利用技术、三氯氢硅气体分离提纯技术、高纯多晶硅制备和质量控制技术等一系列核心自主技术,实现了微电子单晶用多晶硅产品的规模化生产。

该项目目前拥有完全自主知识产权,累计申请专利24项,其中获得发明专利授权5项,受理发明专利6项,参与编制国家标准7部、行业标准4部。

依托项目研究,新能源分公司已经具备电子级多晶硅生产装置工程化能力,并且成为国内唯一一家量产并批量销售电子级多晶硅的企业。生产的“黄河水电多晶硅”经过ChemTrace、EAG、SGS等国内外20多家权威机构检测和上百次下游企业的评估、试用,质量指标已与国外龙头企业相当,完全满足分立器件研磨片、3-6英寸抛光片、8英寸、12英寸外延片和抛光片的制造要求,产品质量达到国际先进水平,产品市场占有率逐年攀升,目前国内市场占有率达20%。

“经过多年深耕,新能源分公司已经成功突破电子级多晶硅生产核心技术,实现了在集成电路斗地主达人的大规模应用,彻底打破了国外市场垄断,保障了我国集成电路硅材料斗地主达人的战略安全,加快了我国6-8英寸、8-12英寸硅片和集成电路用高纯硅材料斗地主达人化的进程。”黄河公司党委委员、副总经理刘刚介绍道,特别是中美贸易纷争激烈的背景下,新能源分公司推进了集成电路硅材料国产化进程,完成了进口替代,填补了电子级多晶硅生产技术和市场的空白。

“集成电路斗地主达人的发展关乎企业、关乎青海、更关乎国家。我们将继续潜心钻研,攻克难点,打造国家集成电路材料一流企业,擘画高质量发展蓝图,全力推动国家基础材料战略安全。未来可期!”对于未来发展,新能源分公司总经理秦榕信心满满。